Источник питания «ИП-3МГ», предназначен для преобразования переменного трехфазного напряжения промышленной сети в постоянный и генерации тока заданной формы, для питания магнетронов установки плазмохимического осаждения углеродных алмазоподобных пленок.
Технические характеристики источника плазмохимического осаждения
| Технические параметры | Ед. изм. / Описание | Значение параметров |
| Напряжение питания | В |
380+/-10%
|
| Частота питающей сети | Гц |
50+/-1
|
|
Количество выходных каналов
|
шт |
3
|
|
Выходное напряжение
|
кВ |
3.5-5
|
|
Длительность импульса регулируемая
|
мкс |
100
|
|
Длительность паузы регулируемая
|
мкс
|
100
|
|
Частота импульсов
|
Гц |
100-:-3500
|
| Амплитуда тока в импульсе |
А
|
0.03-2
|
|
Ток в паузе регулируется
|
А
|
0.03-2
|
|
Ток в непрерывном режиме
|
А
|
0.03-1
|
|
Ток накала (максимальный на канал)
|
А
|
11
|
|
Управление
|
С передней панели
|
|
|
По интерфейсу RS-485/232
|
||
|
Точность стабилизации тока нормируется в диапазоне и составляет
|
А
% |
30мА-:-2А
0.5
|
|
Выходная мощность в импульсном режиме
|
кВт
|
30
|
|
Выходная мощность в непрерывном режиме
|
кВт
|
15
|
|
Охлаждение
|
Воздушное принудительное
|
|
|
Размеры габаритные
|
мм
|
420х470х550
|
|
Вес
|
кг
|
45
|
Ток регулируется отдельно в каждом канале. Модуляция в каналах осуществляется по току, глубина модуляции регулируемая от 0 до 100%.
Управление и индикация осуществляется сенсорной панелью оператора.
Фотографии источника питания ИП-3МГ
Общий вид
Сенсорная панель оператора
Плазма СВЧ поля
Осциллограмма импульсного СВЧ поля
