Источник питания системы сканирования установки ионной имплантации «Везувий – 1» предназначен для отклонения луча ионов в вертикальной плоскости, в процессе операции ионного легирования.
Источник питания системы сканирования установки ионной имплантации «Везувий – 1» обеспечивает равномерную обработку лучом ионов легируемых пластин с точностью не хуже 1% относительно центра луча.
Условия эксплуатации источника питания системы сканирования:
| Параметр | Значение |
| Температура окружающей среды, 0С | от +10 до + 35 |
| Относительная влажность, % | до 80 |
| Атмосферное давление мм рт. ст. | от 720 до 780 |
Источник питания системы сканирования обеспечивает питание отклоняющих пластин пилообразным напряжением со следующими параметрами:
| Параметр | Ед. измерения | Значение параметра |
| Питающая сеть | В, Гц | 220 ±10%, 50±1 |
| КПД | % | >81 |
| Охлаждение | Воздушное | Воздушное |
| Частота сканирования | Гц | 3000 |
| Емкость нагрузки | пФ | 40-100 |
| Форма выходного напряжения | Симметричная | Симметричная |
| Нелинейность напряжения | ±2% | ±2% |
| Нестабильность пилообразного напряжения при постоянной нагрузке не хуже | 3% | 3% |
| Частота сканирования | Гц | 3000 |
| Габариты (высота х ширина х глубина) | мм | 180х330х480 |
| Компьютерное управление источником | Интерфейс RS-485, Ethernet, Wi-Fi | Интерфейс RS-485, Ethernet, Wi-Fi |
| Вес | кг | 12,5 |
| Выходное напряжение (размах пилы) | кВ | До 20 |
Управление амплитудой источника питания системы сканирования осуществляется дистанционно с панели оператора установки «Везувий-1» ступенями в следующих пределах: 1,25; 1,87; 2,5; 3,12; 3,75; 4,37; 5,0 кВ, что соответствует ускоряющему напряжению ионов 50, 75, 100, 125, 150, 175, 200 кВ. Точность установки амплитуды пилообразного напряжения ±3%.
Источник питания системы сканирования обладает защитой от перегрузки по выходному току и короткого замыкания.
Гарантия на источник питания сканирования для установки – 24 месяца.
