Источник питания для магнетронной распылительной системы ИПМ-80

  

ИПМ-80 — источник питания магнетронов предназначен для питания магнетронной распылительной системы. Источник работает в составе установки бескапельного магнетронного осаждения упрочняющих покрытий.


Технические характеристики источника ИПМ-80

Технические параметры Ед. изм. / Описание / Шаг изменения Значение параметров
Выходное напряжение 3х380В, 50/60 Гц
Максимальная выходная мощность кВт 80
Максимальная потребляемая мощность кВт 86
Диапазон регулирования выходного напряжения В, шаг 1В 10 ÷ 660
Диапазон регулирования выходного среднего тока А, шаг 1 А 1 ÷ 200
Диапазон регулирования выходной средней мощности кВт,шаг 0,5 кВт 0,5 ÷ 80,0
Тип выходного напряжение постоянное
Режимы стабилизации напряжение, ток, мощность
Порог детектирования дуги по спаду напряжения В, шаг 1 В dU – 50 ÷ 200
Время реакции на дуговой пробой не более 1,5 мкс
Задержка срабатывания дугоподавления мкс, шаг 1 мкс 0 ÷ 50
Длительность импульса дугоподавления мкс, шаг 1 мкс 3 ÷ 10
Пауза после срабатывания дугоподавления мс, шаг 1 мс 1 ÷ 50
Блокировочный вход Есть
Вес Кг. 85
Габариты См. 140x50x80

При подключении источника питания для магнетронной распылительной системы предусмотрена защиту низковольтного (до 40 В) инверторного источника питания, подключенного к трубному катоду, работающему в двух режимах – либо вакуумно-дугового испарения, либо магнетронного распыления.

Добавить комментарий