Источник питания сканирования для установки ионной имплантации «Везувий-1»

Источник питания системы сканирования установки ионной имплантации «Везувий – 1» предназначен для отклонения луча ионов в вертикальной плоскости, в процессе операции ионного легирования.

Источник питания системы сканирования установки ионной имплантации «Везувий – 1» обеспечивает равномерную обработку лучом ионов легируемых пластин с точностью не хуже 1% относительно центра луча.

Панель управления ИПС-5
Панель управления ИПС-5 на установке «Везувий-1»

Условия эксплуатации источника питания системы сканирования:

Параметр Значение
Температура окружающей среды, 0С от +10 до + 35
Относительная влажность, % до 80
Атмосферное давление мм рт. ст. от 720 до 780

Источник питания системы сканирования обеспечивает питание отклоняющих пластин пилообразным напряжением со следующими параметрами:

Параметр Ед. измерения Значение параметра
Питающая сеть В, Гц 220 ±10%, 50±1
КПД % >81
Охлаждение Воздушное Воздушное
Частота сканирования Гц3000
Емкость нагрузки пФ40-100
Форма выходного напряжения Симметричная Симметричная
Нелинейность напряжения ±2%±2%
Нестабильность пилообразного напряжения при постоянной нагрузке не хуже 3%3%
Частота сканирования Гц3000
Габариты (высота х ширина х глубина) мм180х330х480
Компьютерное управление источником Интерфейс RS-485, Ethernet, Wi-FiИнтерфейс RS-485, Ethernet, Wi-Fi
Вес кг12,5
Выходное напряжение (размах пилы) кВДо 20

Управление амплитудой источника питания системы сканирования осуществляется дистанционно с панели оператора установки «Везувий-1» ступенями в следующих пределах: 1,25; 1,87; 2,5; 3,12; 3,75; 4,37; 5,0 кВ, что соответствует ускоряющему напряжению ионов 50, 75, 100, 125, 150, 175, 200 кВ. Точность установки амплитуды пилообразного напряжения ±3%.

Осциллограмма напряжения и тока в системе сканирования — напряжение 1 клетка — 5 кВ, ток 1 клетка — 40 мА

Источник питания системы сканирования обладает защитой от перегрузки по выходному току и короткого замыкания.

Гарантия на источник питания сканирования для установки – 24 месяца.

Ссылка на основную публикацию